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低压真空等离子设备

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工业真空等离子清洗机（射频）

真空等离子清洗机作为一种精密干法清洗设备，适用于混合集成电路、单片集成电路管壳和陶瓷基板的清洗；可应用于半导体、厚膜电路、元器件封装前、硅片刻蚀后、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，可去除材料表面的油脂、油污等有机物及氧化层。还可应用于塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

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真空等离子清洗机NE-PE40F

真空等离子清洗机NE-PE40F NE-PE40F是一款中型等离子清洗机，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样，具有如下的优点：（1）等离子清洗机清洗效率高，应用范围广；（2）对清洗样品，没有任何外观尺寸、材质等要求。

电感耦合真空等离子清洗机NE-Q15

电感耦合真空等离子清洗机NE-Q15 NE-Q15电感耦合等离子清洗机通过RF射频电源在石英腔体内感应诱导气体从而产生高密度等离子体，设备采用高纯石英玻璃作为反应腔体，腔体洁净度高，内部无电极，可以避免电极溅射造成的污染问题。

真空等离子清洗机NE-PE60F

真空等离子清洗机NE-PE60F NE-PE60F真空箱式等离子清洗机通过PLC提供稳定的过程控制，设备运行的实时参数通过触摸显示屏直观呈现，软件控制系统，操作简单，能接控制设备及设定各种清洗工艺曲线，并根据工艺不同进行设定、修改、存储、调用。

真空等离子清洗设备NE-PE80F

真空等离子清洗设备NE-PE80F NE-PE80F真空等离子清洗设备主要由真空腔体、高频等离子电源、真空产生及测量系统、工艺气体系统、控制系统等部分组成。等离子清洗的机理正是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”，达到去除物体表面污渍或改善表面活性的目的。

真空等离子清洗机NE-PE110F

真空等离子清洗机NE-PE110F NE-PE110F真空等离子清洗机，其结构主要分为五大部分：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统以及真空泵系统，工作的射频频率为13.56MHz。可以用来提高材料表面的亲水及湿润性、去除表面有机物从而实现清洁改性等目的。

真空等离子体清洗机NE-PE160F

真空等离子体清洗机NE-PE160F NE-PE160F真空等离子体清洗机是一款中大型表面处理设备，利用等离子体来清洗物质表面，以达到清洁，活化、改性等目的。

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