产品简介
NE-PE60F真空箱式等离子清洗机通过PLC提供稳定的过程控制,设备运行的实时参数通过触摸显示屏直观呈现,软件控制系统,操作简单,能接控制设备及设定各种清洗工艺曲线,并根据工艺不同进行设定、修改、存储、调用;软件自带分析功能,能对工艺曲线进行分析。软件控制系统自动的实时记录清洗工艺参数及温度曲线、时间、报警相关数据,保证产品清洗工艺的可追溯性。13.56MHz射频电源与自动匹配系统,具有优异的稳定性与可重复性,多样化可选气体配置,灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案满足不同类型产品的清洗工艺要求。
等离子清洗与湿法清洗工艺相比,等离子清洗不需要使用强酸、强碱等溶液,不需要后期的烘干过程,也无废水处理的要求,是一种简单高效、经济环保、无二次污染的清洗方法。通过等离子清洗可以改善了材料表面的洁净度、亲水性和润湿性,增加基材表面的极性,去除基板表面的沾污和有机物。
产品参数
型号 | NE-PE60F |
等离子频率 | 13.56MHz 自动阻抗匹配 |
极限真空度 | 10Pa |
功率 | 0-500W可调 |
腔体材质 | 316不锈钢/铝合金(可选) |
腔体尺寸 | 400(W)*450(D)*370(H)mm |
腔体容积 | 66L |
单层有效处理面积 | W360mm x D370mm |
气路数量 | 2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等,腐蚀性气体需提前说明 |
处理层数 | 6层(可定制) |
控制方式 | PLC+触摸屏 |
真空泵 | 油泵/干泵(可选) |
电源 | AC380V,50/60Hz |
外形尺寸 | 905mm(L)×1070mm(W) ×1740 mm(H) |
产品应用
金属键合(wire-bond)前的等离子清洗
塑封(Molding)前的等离子清洗
改善粘接性
提升亲水性
光刻胶的去除
表面粗化与微蚀
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