真空箱式等离子清洗机NE-PE60F -plasma清洗机-深圳纳恩科技有限公司

产品简介

NE-PE60F真空箱式等离子清洗机通过PLC提供稳定的过程控制，设备运行的实时参数通过触摸显示屏直观呈现，软件控制系统，操作简单，能接控制设备及设定各种清洗工艺曲线，并根据工艺不同进行设定、修改、存储、调用；软件自带分析功能，能对工艺曲线进行分析。软件控制系统自动的实时记录清洗工艺参数及温度曲线、时间、报警相关数据，保证产品清洗工艺的可追溯性。13.56MHz射频电源与自动匹配系统，具有优异的稳定性与可重复性，多样化可选气体配置，灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案满足不同类型产品的清洗工艺要求。

等离子清洗与湿法清洗工艺相比，等离子清洗不需要使用强酸、强碱等溶液，不需要后期的烘干过程，也无废水处理的要求，是一种简单高效、经济环保、无二次污染的清洗方法。通过等离子清洗可以改善了材料表面的洁净度、亲水性和润湿性，增加基材表面的极性，去除基板表面的沾污和有机物。

产品参数

型号	NE-PE60F
等离子频率	13.56MHz 自动阻抗匹配
极限真空度	10Pa
功率	0-500W可调
腔体材质	316不锈钢/铝合金（可选）
腔体尺寸	400(W)450(D)370(H)mm
腔体容积	66L
单层有效处理面积	W360mm x D370mm
气路数量	2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等，腐蚀性气体需提前说明
处理层数	6层（可定制）
控制方式	PLC+触摸屏
真空泵	油泵/干泵（可选）
电源	AC380V,50/60Hz
外形尺寸	905mm(L)×1070mm(W) ×1740 mm(H)

产品应用

金属键合(wire-bond)前的等离子清洗

塑封(Molding)前的等离子清洗

改善粘接性

提升亲水性

光刻胶的去除

表面粗化与微蚀