产品简介
NE-PE40F是一款中小型真空等离子清洗机,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。等离子清洗机是一种利用等离子体去除材料表面污染物的清洗设备,设备采用PLC触摸屏控制,电源采用自动匹配电源,通过真空泵快速产生一个1-20 Pa的真空压强,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,使得通入的工艺气体电离产生等离子体。工作过程中,等离子体中的高能粒子与表面污染物发生化学反应或物理轰击,使污染物解离、氧化或还原,形成挥发性产物,进而达到表面污染物的清洗的效果。
NE-PE40F具有如下的优点:(1)等离子清洗机清洗效率高,应用范围广;(2)对清洗样品,没有任何外观尺寸、材质等要求;(3)在清洗过程中,温升比较小,基本可达到常温处理;(4)射频功率可无极连续可调,高效的特制电极是产生均匀等离子体的保证;(5)特有的过载、过热和短路保护电路,可保证射频电源的稳定和安全;(6)设备采用模块化设计,安装与维护都极为简单。
产品参数
型号 | NE-PE40F |
等离子频率 | 13.56MHz |
腔体材质 | 不锈钢/铝合金(可选) |
真空泵 | 油泵/干泵(可选) |
极限真空度 | 1Pa |
功率 | 0-300W(可调) |
腔体尺寸 | 350(L)*405(D)*300(H)mm |
腔体容积 | 40L |
腔体有效处理面积 | 300(L)×300(D)mm |
气路数量 | 2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等 |
极板间距 | 34mm(可调整) |
处理层数 | 4层 |
控制方式 | PLC+触摸屏 |
电源 | 220V |
外形尺寸 | 685mm(L) X 830m (w) X 1450mm (H) |
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