产品简介
NE-PE160F真空等离子体清洗机是一款中大型表面处理设备,利用等离子体来清洗物质表面,以达到清洁,活化、改性、刻蚀等目的。可以应用于半导体、微电子、COG前、LED制程、器件封装前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
NE-PE160F主要由控制单元、真空腔体和真空泵三个部分,通过数控技术,可以轻松对各种参数进行调节,因为清洗过程在真空腔室中进行,所以清洗后不用干燥,操作简单,环境友好。
产品参数
型号 | NE-PE160F |
等离子频率 | 13.56MHz 自动阻抗匹配 |
极限真空度 | 10Pa |
真空泵 | 油泵/干泵(可选) |
功率 | 0-1000W可调 |
腔体材质 | 316不锈钢/铝合金(可选) |
腔体尺寸 | 550(W)*600(D)*500(H)mm |
腔体容积 | 165L |
单层有效处理面积 | W510mm x D510mm |
气路数量 | 2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等 |
极板间距 | 54mm(可调整) |
处理层数 | 8层(可定制) |
控制方式 | PLC+触摸屏 |
电源 | AC380V,50/60Hz |
外形尺寸 | 1170mm(L)×1190mm(W) ×1825 mm(H) |
产品应用
提高亲水性
改善粘接性
表面微刻蚀
有机物去除
氧化物还原
提高印刷油墨附着力
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