产品简介
NE-PE160F真空等离子体清洗机是一款中大型表面处理设备，利用等离子体来清洗物质表面，以达到清洁，活化、改性、刻蚀等目的。可以应用于半导体、微电子、COG前、LED制程、器件封装前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
NE-PE160F主要由控制单元、真空腔体和真空泵三个部分组成，通过数控技术，可以轻松对各种参数进行调节，因为清洗过程在真空腔室中进行，所以清洗后不用干燥，操作简单，环境友好。
产品参数
| 型号 | NE-PE160F |
| 等离子频率 | 13.56MHz 自动阻抗匹配 |
| 极限真空度 | 10Pa |
| 真空泵 | 油泵/干泵（可选） |
| 功率 | 0-1000W可调 |
| 腔体材质 | 316不锈钢/铝合金（可选） |
| 腔体尺寸 | 550(W)*600(D)*500(H)mm |
| 腔体容积 | 165L |
| 单层有效处理面积 | W510mm x D510mm |
| 气路数量 | 2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等 |
| 极板间距 | 54mm（可调整） |
| 处理层数 | 8层（可定制） |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 电源 | AC380V,50/60Hz |
| 外形尺寸 | 1170mm(L)×1190mm(W) ×1825 mm(H) |
产品应用
提高亲水性
改善粘接性
表面微刻蚀
有机物去除
氧化物还原
提高印刷油墨附着力
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