附着是指薄膜和基体表面相互作用将薄膜粘附在基体上的一种现象,是与薄膜在基体上存在的耐久性及耐磨性直接相关的重要概念。附着力的产生来源于膜与基片之间的相互作用,它的作用机理就是吸附,吸附可分为物理吸附和化学吸附两种。
膜层与基片之间的附着力,总体上受以下因素影响。基片的表面粗糙度和结构是否存在缺陷;基片表面是否清洁;基片表面的状态能问题等。
如果基片不经过清洁处理,将在其表面上留有一个污染层,使基片表面的化学键达到饱和,故淀积上薄膜以后,膜的附着力很差。因此,在制造薄膜时,为了提高其附着性能,必须先对基片进行清洁和活化处理。
一方面等离子清洗,可去除镀膜基片表面残留的一些细微污染物以及分子原子基团等,并使得镀膜基材表面引入亲水极性基团,从而使固体表面具有良好的液体流动性,增大膜层与基片的附着力。
另一方面在镀膜前通过等离子轰击工件,其轰击能量可传递给基底的晶格原子,使晶格结构遭到破坏,增加工件表面的微观粗糙度,使基底的表面原子彻底裸露,提高原子的极化率,缩小了薄膜原子与基底表面原子的间距,同时增加薄膜与表面的接触面积,有利于提高机械锁紧力,从而极大地改善薄膜与基底间的附着力。
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