小型等离子体清洗仪NE-Q05H

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产品简介

NE-Q05H小型等离子体清洗仪整套系统包括真空仓、射频发生器、真空泵以及进排气口。处理器为电容耦合外电极型，处理室为圆筒形石英玻璃。等离子体放电系统为200W高频振荡电源，电源频率13.56MHz，为了保证电源有效地供给放电功率，在电源与放电电极间配有阻抗匹配器。此设备处理器采用外电极式，即放电能量从处理器外部施加，可以避免电极的腐蚀和反应物在极板沉积的问题。

产品参数

型号	NE-Q05H
频率	13. 56 MHz 固态射频电源
功率	200W
腔体材质	石英耐热玻璃
腔体容积	5L
腔体尺寸（圆形）	Φ150×280（D）mm
气体流量控制器	MFC 质量流量控制器， 0-300sccm
气路数量	2 路气体，支持氧气，氩气等（如需接入腐蚀性气体，提前告知）
真空测定系统	皮拉尼真空硅管
极限真空度	1Pa
控制方式	PLC+4.3寸触摸屏
电源供应	220V
外形尺寸	548mm(L)×588mm(W) ×617 mm(H)