台式实验型 小型等离子体清洗机NE-PE10F
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产品简介

NE-PE10F小型等离子体清洗机由真空系统、真空腔体、气体循环系统、电源控制系统以及微机控制单元构成。NE-PE10F拥有多层处理电极,有效提高腔体利用率,满足多种清洗需求 。所谓等离子体实际上与固体、液体和气体一样,只不过是物质的一种存在状态,也被称为第四态。当对气体施加能够使其离化的能量时,气体就会离化成等离子状态,等离子体由离子、电子、激发态的核素、活性基团和光子组成。等离子体清洗机正是利用这些由具有高能量的物质组成的无序等离子体来轰击产品表面,从而实现清洁产品表面的目的。等离子体清洗的优点在于经处理的产品处于干燥状态,且具有更高的效果以及效率。

产品参数

型号NE-PE10F
等离子频率13.56MHz自动阻抗匹配
极限真空度1Pa
功率0-300W(可调)
腔体尺寸230(L)*270(D)*175(H)mm
腔体容积10L
单层有效处理面积208(L)×215(D)mm
处理层数3层
极板间距55mm
腔体材质316不锈钢
气路数量2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等
触摸屏4.3寸
控制方式PLC+触摸屏
电源220V
外形尺寸600mm(L)×600mm(W) ×550 mm(H)


产品应用

01

提高亲水性

提高亲水性

02

提高粘接性

提高粘接性

03

PDMS键合

PDMS键合

04

硅片玻璃清洗

硅片玻璃清洗

05

有机物清洗

有机物清洗

06

氧化物还原

氧化物还原

应用案例

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