产品简介
氧等离子体清洗机是一种表面清洁及亲水处理装置。使用时,真空腔体内通入一定量的氧气,通过射频电源施加电压起辉产生带有高能量的氧等离子体,这些氧等离子体轰击样品表面即可达到清洁的作用,主要用于清洗有机污染物,如油污、光刻胶等,另外氧等离子体附着在样品表面,会在表面形成含氧官能团如羟基(-OH)等,可一定程度的改善表面的亲水性。
产品参数
型号 | NE-OP20F |
功率 | 0-300W可调 |
频率 | 13.56MHz |
腔体材质 | 316 镜面不锈钢 |
腔体尺寸 | 380(L)*375(D)*160(H)mm |
腔体容积 | 22.8L |
适用产品尺寸 | 300*300mm |
极限真空度 | 1Pa |
控制方式 | 4.3寸触摸屏+PLC |
气路数量 | 两路(氧气等) |
外形尺寸 | 650mm(L)×575mm(W) ×635 mm(H) |
输入电压 | 220V |
产品应用
硅片亲水处理
PDMS键合
ITO/FTO玻璃亲水处理
含氧官能团引入
氧等离子刻蚀
有机物清洗
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