低温射频 氧等离子清洗机NE-OP20F
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产品简介

氧等离子体清洗机是一种表面清洁及亲水处理装置。使用时,真空腔体内通入一定量的氧气,通过射频电源施加电压起辉产生带有高能量的氧等离子体,这些氧等离子体轰击样品表面即可达到清洁的作用,主要用于清洗有机污染物,如油污、光刻胶等,另外氧等离子体附着在样品表面,会在表面形成含氧官能团如羟基(-OH)等,可一定程度的改善表面的亲水性。

产品参数

型号NE-OP20F
功率0-300W可调
频率13.56MHz
腔体材质316 镜面不锈钢
腔体尺寸380(L)*375(D)*160(H)mm
腔体容积22.8L
适用产品尺寸300*300mm
极限真空度1Pa
控制方式4.3寸触摸屏+PLC
气路数量两路(氧气等)
外形尺寸650mm(L)×575mm(W) ×635 mm(H)
输入电压220V


产品应用

01

硅片亲水处理

硅片亲水处理

02

PDMS键合

PDMS键合

03

ITO/FTO玻璃亲水处理

ITO/FTO玻璃亲水处理

04

含氧官能团引入

含氧官能团引入

05

氧等离子刻蚀

氧等离子刻蚀

06

有机物清洗

有机物清洗

应用案例

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