NE-Q15电感耦合等离子清洗机通过RF射频电源在石英腔体内感应诱导气体从而产生等离子体。 电感耦合等离子体即使在较低气压下也可以拥有较高的等离子体密度，可以减小等离子体源中的高能离子对基底的轰击。设备采用高纯石英玻璃作为反应腔体，腔体洁净度高，内部无电极，可以避免电极溅射造成的污染问题。

设备用途：1、清洗：去除有机物、氧化物、金属盐、纳米级微粒污染物等； 2、活化：亲疏水改性、粘接性改善、表面能提升、官能团引入、生物相容性改善等 ；3、刻蚀：表面图案化、表面微刻蚀、改变表面形貌粗糙度等； 4、键合：PDMS等微流控器件键合、晶圆键合前预处理 ；5、去胶：光刻胶灰化、扫底膜；