微波等离子清洗机，设备结构由五部分组成：外壳框架系统、微波放电系统、真空系统、供气系统和控制系统。该设备控制方式为工控机+PLC，操作方式包括自动模式和手动模式，在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储50组不同的配方。设备设计有工作气体耗尽报警、压缩空气压力低于设定值报警、泵热过载报警、反应仓泄露率过大报警等安全功能。

微波等离子清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免静电损伤。微波等离子清洗与低频或射频放电产生的等离子体相比，相对于前两者，微波等离子清洗机的优点在于：（1）无内部电极，可避免放电污染，能量转换效率高，可产生大范围的高密度等离子体；（2）无损伤工艺，自偏压极小；（3）高电子密度，制备各种功能薄膜材料的速率较快；（4）离子冲击小，对器件的损伤小；（5）不产生紫外线辐射。

正是因为具有以上优点，微波等离子在一些工艺中具有不可替代性，例如一些电敏感器件制程中的去胶和清洗。由于激发频率高，离子动能小，化学等离子作用在微波等离子中占主要部分，可以实现更均匀有效地清洗，在清洗中没有物理等离子体所产生的物理冲击和溅射现象，在高可靠性要求的器件尤其是敏感电路的制程清洗过程中，微波等离子清洗机成为关键首选的设备。