反应离子刻蚀原理 反应离子刻蚀(RIE),是一种物理和化学共同作用的刻蚀工艺,刻蚀速率快,并且兼具各向异性和高的选择比等优点.通过最优的参数组合，保持一定的刻蚀速率及方向性，并且减小刻蚀损伤。因此成为了干法刻蚀技术应用的主要方法。

Feb. 23, 2024

等离子体刻蚀与等离子体清洗的联系与区别 低压等离子体清洗与等离子体刻蚀工艺相似，都是利用等离子体产生的活性粒子，与材料表面发生反应从而去除材料表面的物质。等离子体清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。

Feb. 22, 2024

摄像头模组等离子清洗工艺应用 摄像头模组的生产工艺中，等离子清洗被广泛应用于镜头和滤光片等部件的贴合、绑定以及红外截止滤光片的镀膜前清洗等环节。这些应用都能够显著提高摄像头模组的质量和性能。

Feb. 22, 2024

活性等离子体处理与惰性等离子体处理技术 根据所使用气体源的不同，等离子体处理技术，主要分为两种方式，一种是以空气、氧气、氮气为代表的活性气体等离子体处理方法，即等离子体植入官能团反应；另一种是以氦气、氩气为代表的惰性气体等离子体处理方式。

Feb. 21, 2024

氢等离子体清洗SiC晶圆表面 等离子体是物质的一种存在状态,是物质的第四态。等离子体状态中,在电场中加速运动的电子和离子具有很大的动能,等离子体清洗技术即利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用,将SiC晶圆表面的氧和残留的碳等杂质除去。

Feb. 20, 2024

塑料聚合物表面张力与等离子表面处理 本文主要介绍了塑料聚合物表面张力定义和部分聚合物表面张力测试方法，当涂层、印刷、黏接过程中聚合物表面张力不适时可以通过等离子表面处理，对表面张力不适的聚合物进行一系列的改进，达到改变其表面张力为塑料件二次加工服务。

Feb. 01, 2024