等离子清洗机(Plasma Cleaner)可在真空环境下通过对气体施加较高能量使其转化为等离子状态，组成等离子状态的活性组分有离子、电子和活性基团等，这些活性组分对试件表面进行“轰击”，起到表面清洁、改性等作用。

等离子清洗机的功率大小在等离子清洗过程中起到关键作用，清洗功率增大，气体被离解出的粒子数量增加，参与反应的粒子数量增加，一定的清洗时间内达到提升清洗效率的作用；同时清洗功率增大后，粒子能量和活性得到了提升，加剧了粒子与物体表面污染物的化学反应及对物体表面的物理轰击作用。所以在使用等离子清洗机的过程中，也需要严格控制等离子清洗机的工作时间和工作功率，避免清洗时造成产品表面过度蚀伤。一旦出现时间过长或者功率过大，都有可能会破坏材料表面，导致清洗效果变差。

等离子清洗机功率大小对清洗效果的影响试验

选择试验样品为封装形式SOP008-12P裸铜引线框架，分别使用不同清洗功率进行等离子清洗后，测量出的水滴角变化如图1所示，在逐步提高处理功率的过程中，水滴角随着功率的提升而减小，当功率超过一定数值后，水滴角会随着功率的提升而增大。可以看出随着功率的增大，等离子清洗的效果逐渐变好，这是因为随着功率的增大，等离子体的浓度和能量都增加，所以清洗效果也会相应地变好，但是随着等离子清洗功率变大到超过一定数值时，由于处理粒子的能量过强，物体表面会由于等离子的热作用和物理轰击，造成表面差异性，破坏亲水性，导致水滴角的增大。这样的结论与试验结果相一致，表明过强的等离子能量会导致物体表面浸润性的下降。

图一 等离子清洗机清洗功率与水滴角的关系

综上所述：等离子清洗机的等离子体密度和能量与射频功率成正比关系，所以在等离子清洗时可以适当增大清洗功率从而提高清洗的程度以及清洗的效率，但当功率过大，离子温度和能量会上升，在高温条件下金属基片或其他易被氧化的物质会被氧化从而被破坏，另外不耐高温零件例如塑料等也会损坏，同时过高的离子能量有可能刻蚀效应太强有可能会对材料表面造成损伤。因此在等离子清洗之前可以借助模拟合理选择需要的功率，既要满足经济性要求又要保证清洗效果以及清洗的效率。