金属表面清洗是金属工件在加工、电裝、涂装、氧化、纯化、装配及保存前不可缺少的工艺环节。当前，各种金属表面清洗技术百花齐放，根据加工的要求和生产条件，各施其法。但面对能源短缺和环境污染等问题，金属表面清洗技术逐渐向环保、清洁、安全和高功能专利型发展。而近年来，等离子体表面清洗作为一种新型的、安全清洁及环境友好的清洗技术受到欢迎和重视。

等离子清洗

等离子体清洗利用等离子体中的高能粒子和活性粒子，通过轰击或活化反应作用将金属表面污物去除的过程。等离子体清洗的过程不使用化学试剂，所以不会造成二次污染；等离子清洗机可重复性强，所设备和运行成本比较低，而且操作灵活简单，可以实现对金属表面的整体或某些局部及复杂结构的清洗有些经过等离子体清洗后的表面性能还可以得到改善，有助于金属的后续加工应用。

金属等离子体清洗的原理

等离子体中除了存在着大量的气体分子、电子和离子外，还存在大量受激发的中性原子、原子团自由基及等离子体射出的光线。等离子体清洗是利用离子、电子、受激原子、自由基及其射出的光线与被清洗表面的污染物分子分别发生活化反应而最终将表面污染物清除的过程。

针对不同的清洗物体和污物，放电气体的选择也是至关重要的。其中一类是反应性气体，主要包括氢气和氧气等放电气体。利用氢气等离子体的还原反应，可以高效清除金属表面的氧化物；利用氧气等离子体的氧化反应，可以高效快捷的去除金属表面的有机污物。另一类是非反应性气体，主要是氦气、氩气、氮气，其中，氮气在清洗表面污物的同时可以提离材料的硬度和耐磨性。低气压氩气或氦气等离子体清洗金属表面的污物可以避免清洗的物件被氧化或还原，主要是利用氩气或氦气比较稳定的性质，而且放电电压比较低，很容易形成高能的亚稳态原子而轰击污物形成挥发性物质被真空累抽走；如果在氩气和氦气等离子体中渗入适量的反应性气体，如氧气和氢气等，反应性气体分子与高能亚稳态原子碰撞时发生电荷的转换和再结合，降低了电离和活化氧和氢的电压和能量，从而产生的活性粒子更多更容易，在大幅度提高清洗效率的同时还可改善表面性质。

等离子体清洗不仅是一种简捷高效的表面清洗方法，而且在清洗过程中不会产生有害残留物而污染环境，所以也是一种绿色环保的表面清洗手段。等离子清洗主要是凭借等离子体中的电子，离子，激发态原子及自由基等活性粒子的活化作用，将金属表面有机污物的大分子一步步分解而最终产生稳定的易挥发的简单小分子，终将黏着在表面的污物彻底脱离清除。同时，经过等离子体清洗后的金属表面附着性能和表面涧湿性可极大程度的被改善，而这些性能的改善对金属材料的进一步表面处理也是非常有利的。