FTO为掺杂氟的SnO2透明导电玻璃，具有可见光透过率高、电阻率低、抗酸碱能力强等优点被用作钙钛矿太阳能电池导电衬底，作为钙钛矿太阳能电池的基底材料，表面清洁程度对后续的膜层质量至关重要。

等离子清洗

等离子清洗可以在保持材料固有属性的前提下对表面进行修饰并赋予其新的表面功能状态，是一种高效、经济、环保和可重复性的清洗方法。

等离子清洗是指气体分子在高压、真空等条件下会分解出高速运动的原子和分子，这些原子和分子通过解离、碰撞产生等离子体，产生的等离子体作用于FTO玻璃表面，可以使表面分子的化学键重组，因此不仅可以除去残留的有机物杂质，同时还可以向玻璃表面注入羟基官能团，起到使玻璃表面亲水的作用，使得钙钛矿在FTO基底表面更好的成核结晶，获得性能优异的钙钛矿薄膜，同时提高FTO的功函数。

不同清洗方法处理后的FTO基底接触角大小

为了研究不同清洗方法对钙钛矿成膜的影响，我们对不同方法处理后的FTO基底进行了润湿角测试。使用的仪器为动态接触角测量仪，测量精度在±0.1°。接触角为固-液-气三相交点处，其气-液界面和固-液界面两切线所成的角。将钙钛矿前驱液，滴加到不同清洗方法的FTO基底表面。测试结果如图1.1所示，普通的化学清洗接触角为36°，紫外臭氧清洗的接触角为17°和等离子清洗接触角的3°。说明普通化学清洗不能完全去除表面杂质和油污。等离子清洗效果明显更好，能够有效去除基底表面吸附的有机小分子以及油污。更好的亲水性能够使钙钛矿溶液在FTO表面更好的铺展，有利于钙钛矿成膜。与FTO接触更加紧密的钙钛矿薄膜能够减少缺陷的存在，避免在FTO与钙钛矿界面处发生电子堆积，电子与空穴复合相应减少。

图1.1 不同清洗方法处理后的FTO基底接触角大小

采用等离子清洗能够有效清除FTO基底表面的油污以及有机小分子，改善钙钛矿层与FTO基底的界面接触情况，减少界面处的缺陷，增强了FTO对电子的提取能力，避免了电子在FTO的堆积，降低了电子与空穴的复合。经过等离子清洗的FTO导电玻璃提高了表面的润湿性、改善了膜的粘着力，增强了器件的结合力和稳定性。