简单来说，等离子体被定义为一种含有电子，离子，中性粒子和光子混合物的气体。由于电子密度和离子密度相等，所以等离子体在宏观上是中性的。等离子体通常被称为物质的第四种状态。事实上，当温度持续升高时，固体材料会继续转变为液态和气态。当分子气体的温度足够高时，分子被分裂形成原子气体。进一步的能量输入会使原子进入离子化状态，气体最终变成等离子体。

一般而言，用于实验室和工业生产中使用的通常是低温等离子体，低温等离子体产生的主要方式是气体放电，即在电场作用下使气体电离，产生等离子体。根据放电机理、压强范围、电源特性等，等离子体的放电方式主要有以下几种：

（1）电晕放电：

电晕放电装置通常采用不对称的电极、使气体发生电离和激发，产生等离子体。电晕放电的特点是电场强度严重不均匀，放电电压大，放电电流小。

（2）辉光放电：

放电管中的正离子在电场作用下被急剧加速，可获得足够的能量撞击阴极，从而产生二次电子及其它带电粒子，产生等离子体。辉光放电中电子能量和电子密度较高，可以激发产生可见光。辉光等离子体是一种发光的等离子体。

（3）介质阻挡放电：

又称无声放电，是一种非平衡态下的气体放电，介质阻挡放电可在常压下进行。放电过程中电极和放电气体之间没有直接接触，电极不参与反应过程，避免了电极腐蚀的问题，在实验室和科研中一般使用较多，具有一定的工业化前景。

（4）弧光放电：

弧光放电需要电源提供较大能量，在足够大的电流（几安培到几十安培时）下，气体被瞬间击穿，从而可以产生强烈的辉光。弧光放电过程中会释放大量的热量。

（5）微波放电：

微波放电是将微波能量转化为气体分子的内能，从而使气体激发、电离、形成等离子体。微波放电放是一种在低温下产生等离子体的方法，放电频率高、气体活化程度高、电离程度也高。

低温等离子体的特点主要包括以下两个方面：（1）体系中所存在的电子能量极高，它可以激发材料表面的分子，进而促进这些活化分子的电离；（2）放电过程中，反应体系的温度与室温极其接近，克服了传统高活化能化学反应所需要的高温反应条件的缺点。