玻璃材料随着人类文明科技的飞速进步已经广泛应用于人们日常生活中，例如幕墙玻璃、手机盖板玻璃、红外视窗玻璃、汽车玻璃、手表表盘等。但是由于玻璃材料在加工、物流及使用过程中，玻璃材料的表面难免会造成一些划伤和磨损等缺陷，严重影响玻璃器件的使用质量，导致有大量的玻璃材料被当作废品回炉，造成了巨大的浪费与经济损失。因此，为了降低高额损失，提高玻璃的使用寿命，增强玻璃表面的抗划伤和抗磨损性能已成为当今社会迫切需要解决的问题。

镀膜是材料表面改性的一个重要方面，而在玻璃基片上沉积大面积各种功能的膜层已经形成巨大的产业化规模,是目前玻璃深加工的重要手段之一,，通过镀膜可以提高玻璃的各项性能。

玻璃镀膜基底附着力的改善是一个重要的技术问题，它直接关系到镀膜的质量和持久性。等离子清洗技术可以实现表面清洗、表面活化、表面蚀刻等功能，有效去除玻璃表面的有机残留物，提高表面的清洁度和活性，从而增强镀膜与基底的附着力。

等离子清洗

常规的化学清洗方法只能清洁表面大颗粒杂质，等离子体清洗能够实现更高的表面清洁度，同时提高表面的活性。如图1-1所示为等离子体清洗的工作示意图。

图1-1 等离子清洗机工作原理示意图

等离子体表面清洗的原理是通过通入相应的气体，在经过等离子体激发后对材料表面进行清洗。等离子体清洗的功率相对于等离子体表面刻蚀的功率小，其单个等离子体基团携带的能量在撞击材料表面时不足以对表面进行大面积刻蚀。但表面吸附杂质与表面原子的成键相对较低，等离子体携带的能量能够使其断键，使表面低吸附能的杂质脱离，达到更高的清洁水平。

等离子清洗除了有去除表面低键能吸附杂质的功能之外，同时等离子体基团在撞击材料表面的同时能够将能量传递给表面原子，增加表面的活性，经过等离子体处理后的表面活性较高。如图1-2所示为等离子体表面处理前后的对比效果图，在表面滴水测试能够发现，未经过表面活化的玻璃表面水珠颗粒较小，颗粒聚集；而经过等离子体表面处理后的液滴弥散，润湿角较小。

图1-2玻璃等离子清洗前后水滴角对比

通过等离子清洗玻璃表面，可以显著提高玻璃表面的附着力和表面能。此过程会增加玻璃表面硅羟基的含量，从而引起分子间的偶极作用力。这种处理有助于提高薄膜与玻璃基板之间的黏附力，并且可促进后续磁控溅射所镀制膜层与基板之间的化学反应，从而提高膜层的结合强度。