工艺气体流量的稳定性对工业型真空等离子清洗机的处理效果具有重要的影响。为了确保清洗效果，大多数工艺都对气体流量控制要求非常严格。因此，工业型真空等离子清洗机通常采用质量流量控制器来控制工艺气体流量。

在工业型真空等离子清洗机实际使用过程中，不同的工艺要求需要使用不同流量控制范围的质量流量控制器。真空等离子清洗机常用的流量控制范围通常在0~50SCCM、0~500SCCM之间。对于一些大型真空等离子清洗机，还需要使用0~1SLM规格的质量流量控制器。（注意：单位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；单位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。) 在选择通入不同工艺气体时，建议选择对应气体的专用质量流量控制器，以确保输入气体的稳定和计量。这是因为不同工艺气体的分子大小、化学特性等都会对流量控制器的性能产生影响，可能会导致流量误差和安全隐患。

如果使用传统的工艺气体，可以选择一种气体作为标准，其中仅需要确保气体流速的稳定性。要注意的是，对于氢气（H₂）、四氟化碳（CF4）等特殊气体，易爆易燃且具有腐蚀性的气体，必须使用专用的质量流量控制器。这些特殊气体在实验过程中具有很高的危险性，一旦泄漏或受到外界刺激，可能会引发爆炸或火灾等安全事故。因此，在选择通入气体时，必须充分考虑气体的特性和安全性，以确保实验操作的安全顺利进行。

此外，实验型真空等离子清洗机机通常对流量控制要求不是很严格，因此也可以选用手动浮子流量计。手动浮子流量计操作简单、价格便宜，对于一些流量变化不大的情况比较适用。

但是，在实验过程中，由于气体的不稳定性和不确定性，手动浮子流量计的精度和稳定性可能无法满足实验要求，因此在实际应用中，建议选择专用的质量流量控制器，以确保实验结果的准确性和安全性。