等离子清洗机是一种利用气体电离产生等离子体来对材料表面进行清洗活化改性的设备，其属于干法清洗的一种，等离子清洗与传统湿法清洗相比,不需要使用大量的酸、碱、有机溶剂等,不会给环境带来任何污染,有利于环保和人员安全,同时该清洗技术的均匀性、重复性和可控性非常好,具有三维处理能力,并对清洗材料的种类没有限制。

任何事物都具有两重性，同样在了解等离子清洗机的优点的同时，还应了解它的不足及使用中存在的缺点。等离子清洗机在应用中确实存在一些制约因素。

等离子清洗机缺点主要表现在以下几点：

1、等离子清洗机一个明显缺点就是经过等离子清洗的产品会有时效性，等离子清洗后的材料或产品，对材料改性的效果并不持久，随着时间的推移，部分处理效果会逐渐失去，这种现象称为等离子清洗的时效性或者老化。例如刚刚等离子清洗完的产品表面亲水性能很好，但随着时间的推移，慢慢产品表面又开始变得疏水。因此对于时效有要求的工艺，在选择等离子清洗机时要充分考虑这个因素。因此我们一般都会建议客户对使用完等离子清洗后的产品尽快进行下一道工艺，无论是粘接，还是印刷涂层等，避免时效的影响。在等离子清洗完立马进行下一道工艺，是不会对后续（如粘接）的效果造成影响的。

2、等离子清洗机不是什么东西都能清洗，等离子清洗是一种微观层面的清洗，清洗的程度仅仅是纳米级到微米级之间，并不能完全替代传统的湿法清洗，等离子清洗适合清洗有机物、氧化物和微小颗粒，等离子清洗对于去除表面有机物缺陷作用尤其明显，对于灰尘、大颗粒的无机污染物，等离子清洗只能望尘莫及。

例如不能用这种方法除去物体表面的切削粉末，其次在应用过程中还发现不能用等离子体清洗很好地除去物体表面黏附的指纹，而指纹是玻璃光学元件上常出现的一种污染物。等离子体清洗也不是完全不能用于除去指纹，但这需要延长处理时间，这时又不得不考虑到这时它会对基材的性能造成不良的影响。所以还需要采用其他清洗措施进行预处理相配合。

3、采用等离子清洗机的一个缺点是清洗的工艺复杂，控制不当会使产品造成损伤。高能粒子，溅射清洗期间作为等离子的产物，可能导致在器件绝缘体(氧化物和氮化物)中形成电子空穴对，器件的电性能可能因此发生变化。样品在射频场中或在强烈的等离子体中可能被损坏，这需要关注。损坏的证据是不确定的，而且看来损坏仅发生在非常高的射频功率且重复和延长周期达到60~120分钟。通常在较短时间的清洗步骤期间，我们不会遇到这样的条件。

4、在使用氧气等离子进行清洗的场合，需要注意产品是否不能被氧化，氧气等离子清洗的致命缺点是清洗完的器件容易生成新的氧化物，变成二次污染。

以上就是关于等离子清洗机缺点的一些介绍，在选择等离子清洗这个工艺之前充分了解等离子清洗的缺点，对于等离子清洗工艺能否满足客户的技术要求有一定帮助。目前等离子清洗技术广泛应用在电子行业（主要是半导体和光电工业）、橡胶、塑料、汽车及国防等领域。在半导体制造业中，等离子清洗技术已经成为不可或缺的手段，其主要作用是能够有效提高半导体元器件在生产制造过程中表面的洁净度，且活化表面，提高产品的可靠性。这些充分证明缺点并不足以掩盖等离子清洗的优点，未来等离子清洗机作为环保的干式处理设备，一定会得到更加大量的运用。