真空等离子表面处理机需要多系统协同作用，主要包括控制系统、工作气源系统、真空系统、射频电源系统、气体控制系统和反应腔等。

真空等离子表面处理机常见故障和检查维修方法

无法起辉

（1）射频电源故障，需要检测电源输出功率；

（2）电极板正负极插错，电极板镀金插头断，发黑接触不良，需要检查正负极板是否插错，是否有接触不良的现象存在；

（3）气体进气量异常，需要检查气体质量流量计和进气阀门是否正常；

（4）腔室压力不满足要求，需要检查真空示数是否达标，若达标，则需要外接真空计检测腔室真空度，以确定真空传感器无损坏；

（5））射频反射功率过大，需要检查自动匹配模块是否正常。

辉光不稳

（1）射频电源输出不稳，需要检测射频功率；

（2）腔室压力不稳定，需要检查控制气体进气量的真空阀是否正常；

（3）电缆接触不良，需要重新连接，并使用专用清洗剂清洁。

压力显示不稳定

（1）真空泵异常或老化，用真空计检测泵体进气口处真空度，视情况需要适当增加泵油或更换新泵；

（2）真空阀异常，检查真空阀开闭是否顺利；

（3）气体流量异常，检查气体流量计，阀门以及管路是否正常；

（4）真空管路泄露，检查真空系统漏率，检查管路各部位如波纹管是否出现裂纹，必要时用检漏仪检漏以精准定位泄漏点。

典型维修案例分析

真空等离子表面处理机的射频反射功率过高会出现无法起辉或辉光不稳的故障，程序在检测到反射功率超过设定值之后会报错，并停止工艺，此时需要对射频匹配模块进行维修和调整。一般情况下，若飘移不大，可通过设备的调节开关调整到允许范围内。但下列现象没有办法通过调节开关调到允许范围之内：匹配命令发出之后调整电机不转、电容叶片变形卡住、位置电位器坏、位置电位器轴向紧固螺钉松动、齿轮磨损等情况只能打开匹配箱进行相应位置的调整及维修。

以上就是常见的真空等离子表面处理机故障和检查方法，为设备的使用和维修维护提供了一定的参考。一般碰到问题最好第一时间直接找厂家联系，通过厂家来提供专业的操作指导，避免出现更大的故障问题。