等离子体是通过电离气体产生的中性离子、电子、光子组成的活性物质，能够诱导不同物理现象和化学反应。等离子体是第四种物质状态，在实验室条件下可以通过将外部能量源施加到中性气体中产生，即气体变得导电。在等离子体形成过程中，产生大量的离子和电子，正粒子和负粒子之间的总体比例使得产生的等离子体被认为是中性的。根据电子与离子是否处于热平衡状态，等离子体可分为热等离子体和非热等离子体，热等离子体是电子与离子处于相同温度的等离子体，需要较长时间达到热平衡。另一方面，非热等离子体，也称为低温等离子体，其特征在于电子的温度高于接近室温。

等离子表面处理机温度有多高？

等离子表面处理机所运用的就是低温等离子技术，其处理温度接近室温。一般来说等离子表面处理机根据产生等离子体的气压不同，分为常压和真空两大类。其中真空等离子表面处理机的温度范围一般在30-100℃之间，常压等离子表面处理机的温度范围在60-200℃的范围之间。

等离子表面处理机的温度并不是一成不变，会随着工艺参数的变化而变化，下面是关于影响等离子表面处理机温度的关键因素。

常压等离子表面处理机的处理温度影响因素

等离子体产生的本质来自电子被电场或磁场激发出原子核外层，并伴随大量的热量产生，在作用于高分子材料表面改性的同时，其热效应同样不可忽视。通过红外测温仪测试了等离子体气流作用至材料表面时的恒定温度，并将此温度作为等离子体气流的温度。等离子体气流温度与工作距离、气压的关系如图1所示。随气流气压升高，等离子体气流温度降低。根据帕邢定律，气压升高后气体的击穿电压增大，而等离子体设备输入电压恒定，故产生的等离子体量减少，等离子体浓度降低，因而温度降低。另外，随工作距离增大，等离子体气流温度降低。等离子体流中的各种成分在向样板传输过程中会不断剧烈运动，彼此碰撞而导致电子与离子重新结合，等离子体浓度降低，进而温度降低。

图1等离子表面处理气流温度与工作距离以及气压的关系

除此之外常压等离子表面处理机的处理温度，还与处理速度有关，处理速度越快，表面的温度相对就会越低。

真空式等离子表面处理机的温度影响因素

在等离子表面处理过程中,被处理件在离子的物理轰击作用下,温度会逐渐升高,温度通常与射频功率、频率、充气速率和处理时间等相关。

处理时间

随着处理时间的增加，处理温度会有所增加，随着处理时间的延长，之后温度稳定在这个水平不再升高。

下图2为等离子表面处理时间与温度的关系

处理功率

连续的高功率等离子体处理会产生一定的热效应,从而增加设备的处理温度。

了解等离子表面处理机的温度，对于客户判断自己的材料是否适合等离子处理有一定的帮助，因为有些材料处理温度过高会变形变色热损伤，导致工件废件。不同温度下的处理效果也不尽相同，有些材料温度高处理效果反而越好。等离子表面处理机的温度也是影响处理效果的一个重要参数，等离子表面处理机也可以通过加温，和降温来实现对温度的控制。