等离子表面处理机利用等离子体中的电子、离子等高能粒子在基底表面产生氧化和刻蚀，增加基底表面的极性和粗糙度，其改性只是在材料表面几到几百纳米的范围，并不会使材料热解或烧蚀。等离子体处理能够使材料表面分子激发、电离或断键，进而增强基底与其他材料之间的化学键合和物理嵌合性。相比于其他方法，可更方便地在基底表层导入一定的官能团或一些大分子链，同时改性的过程也可以通过工艺技术条件进行限制。概念上说，通过等离子体处理技术可以对任何形状、任何特点的高分子材料进行表面改性，并且只对材料的表层性质进行改性，而不会对其本身性质产生影响。

等离子表面处理机功率大小调节影响什么

等离子表面处理机的一个重要参数是它的放电功率密度，当功率密度不同时，对基底表面也会产生不同的影响。等离子表面处理机功率的大小直接决定了等离子状态中各种能量大小，因而等离子处理功率的大小直接影响到了荷电离子轰击试件表面的效果。

下图1为等离子表面处理机功率与处理效果的大致关系。

随着等离子表面处理功率增大到一定程度，表面改性效果达到最佳状态。这是因为当等离子体处理功率逐渐增大时，入射离子的动能也逐渐增大，离子和样品表面相互碰撞的几率增加，样品表面自由基形成的数目增多，表面润湿性提高。此后等离子体处理功率再增加，荷能离子能量太高，当其入射到样品表面时，被固体表面反射的几率增多，捕获的几率减少，使得样品表面形成表面自由基的数目减少。同时，还会导致样品表面受到一定程度上的损伤，所以改性效果反而下降。

从图1可以看出等离子表面处理功率密度也存在一个合适的值可以极大的增加基底表明极性基团的含量，提高其表面活性。

一般情况下随着等离子表面处理机放电功率增大，活性粒子能量和等离子体的密度会增加，处理效果就会提高，而放电功率对等离子体的密度的影响较大，因此在处理时间相同的情况下等离子表面处理功率越小等离子体的密度和活性粒子能量越小。