在等离子清洗机在使用中,会遇到清洗达不到要求、设备本身故障率异常等问题。如何保证等离子清洗机在生产中能够达到工艺要求,同时保证设备的正常稳定运行,等离子清洗机的维护保养至关重要。以下介绍了等离子清洗机几个关键部位如何进行保养维护的方法。

等离子清洗腔体清洁

等离子清洗时产生的污物大部分都接近电子级别,会随着真空泵排除。但也会有一些大颗粒污染物产生。这些大颗粒污物会附着在腔壁、电极和托板架上。腔壁上有一层薄薄的“灰”,腔底掉落更严重。

对于腔壁用不可掉落的毛刷清洁使颗粒粉尘异物在腔壁脱落,用吸尘机将污物吸出。用脱脂布沾酒精擦拭，（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）。其次腔体导入N2和O2,用等离子体清洗腔体内残余物,工作10min。

定期检查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近最低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪音异常，则及时更换真空油。

检查输气管道的完整性及真空密封性

使用气体质量流量控制器对机台气体质量流量控制器进行测量,并参照检测值校正机台气体质量流量控制器。也可参照同腔体真空度检查(参考测试),关闭总阀之后检查显示气体管道通道压力数值,如果发现数值有变化,用肥皂水喷在气体管道接口处观察,如有气泡出现,重新更换接头恢复正常。

定期检查反应腔体门密封条是不是松动，检查各管路是否连接紧固，老化等问题，如有问题及时更换。

等离子清洗机定期保养计划

等离子清洗机的三大条件是真空环境(真空机组,真空检测仪,腔体的密闭)、高能量(射频电源、工艺气体)和介质(腔体、电极)组成。那么等离子清洗机的保养应从以上这些方面进行,根据保养项目划分周期分为每日、每周、每月、半年、每年、2~3年,见表1。

表1  等离子清洗机保养周期及内容和方法

在实际生产过程中,影响等离子清洗效果的不仅仅是工艺技术,还有设备的稳定性,比如工艺气体的微小泄露、电极托板架的烃基残留物、腔体内其他管道的氧化程度以及设备本身不同程度的故障这些都是在清洗过程中直接对清洗效果产生影响。因此,做好等离子清洗机维护保养非常必要。