真空等离子体处理仪 NE-PE25-深圳纳恩科技有限公司

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产品简介

NE-PE25是一款功能强大、应用广泛的实验型低温真空等离子体处理仪（Vacuum plasmatreatment system），处理材料时是在真空状态下进行，不论材料的形状和类型，如金属、塑料、玻璃、陶瓷、硅片等都能进行PLASMA处理，并且可实现对材料整体和局部以及复杂结构的处理，保证不污染环境且样品表面不被二次污染。

等离子体又称物质的第四态，在此状态中含有丰富的活性粒子，如自由基、离子、激发态分子和电子，它们可以与材料表面发生作用，促使发生表面改性作用，包括清洁、交联、功能化和刻蚀等。这些粒子的作用不仅能有效地实现蚀刻、功能化和清洁，还能在物理和化学层面改善材料表面性质，如通过增加表面粗糙度以提高涂层粘附性，或通过引入新的化学官能团来增强材料的亲水性、粘接性和生物兼容性等。

产品参数

型号	NE-PE25
等离子发生器频率	40KHz
等离子发生器功率	600W
腔体材质	316不锈钢
腔体尺寸	380(W)390(D)170(H)mm; 25L
腔体有效处理空间	332（W）×320（D）×30（H）mm
电极层数	3层高导电铝合金专用电极
正负极板间距	50mm
气体流量控制器	0-500 SCCM
气路数量	2路气体，支持氧气，氩气等
电源供应	220V