实验型 低温等离子体处理仪NE-PE25H
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产品简介

NE-PE25H是一款高配版低温等离子体处理仪,设备采用MFC质量流量计,可以实现对工艺气体流量的精确控制,皮拉尼高精密电阻式真空计,具有高精度的测量能力,其精度可以达到0.1%以下,能够满足大多数高精度实验或工业应用的要求‌。

低温等离子体处理仪在材料加工方面应用广泛,利用等离子体中的高能粒子与材料表面发生物理和化学反应,可以实现对材料表面进行激活、清洗、蚀刻、掺杂等工艺处理。通过等离子体处理可以显著改善材料的表面性能,比如提高材料表面能、亲水性、黏附性能等。

低温等离子体处理是一种干式改性方法,其具有如下的优势:(1)作为干式处理方法,可省去湿式处理中的烘干、废液以及废气的处理,节省能源,并对环境和人体无害;(2)通用性和适应性强,能够对形状复杂的材料表面进行均匀处理;(3)操作简单,处理时间短(几秒到几分钟)且效果明显;(4)改性效果仅发生在材料表面的薄层(几个埃到微米级),改善材料表面性能的同时不会改变材料基体的性能。

产品参数

型号NE-PE25H
等离子发生器功率1000W
等离子发生器频率40KHz
腔体容积380(W)*390(D)*170(H)mm; 25L
腔体有效处理空间332(W)×320(D)×30(H)mm
处理层数2层
正负极板间距50mm
腔体材质316镜面不锈钢
气体流量控制MFC 气体质量流量计精确控制流量, 0-500ml/min
真空测定系统皮拉尼高精密电阻式真空计
工艺气体通道

2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等(如需接入腐蚀性气体,需提前告知)

外形尺寸650mm(L)×649mm(W) ×666 mm(H)
控制方式PLC+7寸触摸屏
电源供应220V


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