NE-PE05是一款小型实验型等离子表面活化仪，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产。设备采用CCP电容耦合等离子体发生方式，整套系统包括真空仓、等离子发生器、真空泵以及进排气口，处理室为圆筒形不锈钢材料。可用来提高基片表面附着力或者改善表面亲水性，在材料粘接、涂层、基片镀膜或者键合等方面有广泛应用。

主要用途/Applications：1、清洗：去除有机物、氧化物、金属盐、纳米级微粒污染物等；2、活化：亲疏水改性、表面能提升、官能团引入、生物相容性改善等；3、刻蚀：表面图案化、表面微刻蚀、改变表面形貌粗糙度等；4、键合：PDMS等微流控器件键合；5、去胶：光刻胶灰化、扫底膜。