低温真空等离子体表面处理仪可实现对材料整体和局部以及复杂结构的清洗、活化、改性、蚀刻等，最大的特点是不论材料的形状和类型，如塑料、玻璃、陶瓷、金属等都能进行处理。利用等离子体处理技术可以改善材料的亲水性、浸润性、黏结性、印染性等。

低温等离子体表面处理仪中内置两个极板，可以形成内置电场，利用真空泵将设备腔内形成真空环境，随着真空度的增加，气体越来越稀薄，此时分子间距和分子自由运动的长度会变大，由于受到电场的作用力，分子间发生碰撞并形成等离子体。

等离子体作用后材料表面主要发生4种物理化学变化：(1)产生自由基：放电空间活性粒子撞击材料表面使表面分子间化学键被打开从而产生大分子自由基，使材料表面具有反应活性。(2)发生表面刻蚀：材料表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大工件的比表面积，表面形状发生变化；(3)发生表面交联：材料表面的自由基之间重新结合，形成一层致密的网状交联层；(4)引入极性基团：表面的自由基与设备放电空间的反应性活性粒子结合从而引入具有较强反应活性的极性基团。