等离子去胶机NE-PE13F-等离子体除胶机-深圳纳恩科技有限公司

产品简介

NE-PE13F是一款高性价比的干法去胶设备，可用于尺寸8英寸及以下样品表面的活化和清洁处理。等离子去胶的工作原理是将覆有光刻胶的外延片/晶圆放置于真空反应系统中，通入少量氧气，利用电压放电，把氧气（O2）电离成激发态的氧原子（O），然后氧原子和抗蚀剂中的C和H快速反应，生成CO、CO2和H2O等挥发性气体，用真空泵抽走，以达到去胶的目的。等离子去胶不仅操作简单、去胶效率高、去胶后晶圆表面干净光洁而且无划痕、成本低、环保，有利于确保产品的质量。

产品参数

型号	NE-PE13F
功率	0-300W可调
频率	13.56 MHz自动阻抗匹配
腔体尺寸	240(L)280(D)200(H)mm
腔体有效处理面积	230（L）×205（D）mm
腔体容积	13.5L
处理产品尺寸	可处理8寸晶圆，向下兼容6寸，4寸晶圆
腔体材质	316 镜面不锈钢
极限真空度	1PA
气路数量	3路耐腐蚀，支持氧气，氩气，氮气，氢气等
外形尺寸	600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H)
电源供应	220V